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1700℃ CVD系統
該常規型CVD設備是由1700℃管式爐、三路質量流量計和真空泵系統組成，用戶可以選配不同型號的爐子和氣路系統搭配不同的化學氣相沉積系統。
小型PECVD系統
該型號PECVD為成儀最新款，綜合了國內大多數廠家的管式PECVD系統的優點，觸摸屏集中一鍵控制，實驗證明此結構沉積速度快，成膜質量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發的實驗電爐AIO全自動智能控制系統，使得操作更加簡便，功能更加強大。
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