工作電源

AC 380V，三相，20KW

感應射頻

30-80KHz

最高熔煉溫度

1650℃

真空系統（選配）

配置一：10-2torr (機械泵)

1.型號：VRD-24

2.抽氣口接口尺寸：KF25

3.抽氣速率：(24m3/h) 6.6L/S

4.電機功率：750W

5.極限壓強 4×10-2Pa

配置二：10-5torr  (機械泵+分子泵)

1.抽氣速率：620L/s

2.極限壓強：6×10-5Pa

3.啟動時間：≤8min

4.額定轉速：27000rpm/min

5.冷卻方式：水冷

6.抽氣口接口尺寸：LF160

真空腔室

1.采用 SS304 不銹鋼腔體雙層水冷腔體，確保設備工作室表面溫度 ≤70℃，

2.腔體尺寸：  φ400*400mm臥式結構

3.腔門上有一個50*150mm 的方形觀察窗口，方便晶體生長過程中實 時觀察樣品的熔化和生長情況；

4.腔體上部安裝了一個量程為-0.1-0.15MPa 的機械壓力表用于觀察 腔室內壓力情況

5.一個 φ6 雙卡套接頭做為出氣口，并通過一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷

6.一個電磁閥可自動控制進氣

7.安裝了一個安全泄壓閥，當腔室中壓力大于一定值時將自動泄壓， 確保腔體的安全

提拉機構

1.提拉采用伺服電機驅動，旋轉采用直流電機驅動

2.提拉速度：0.01-30mm/h

3.籽晶桿旋轉速度：0.1-60 rpm

4.最大提拉行程：200mm

5.位移精度：0.01mm

6.提拉分為快速和慢速

坩堝旋轉機構

1.直流電機驅動

2.旋轉速度：1-30 rpm

控制系統

1.整個電路控制系統在觸摸屏上面實現操作控制,采用控制軟件進行控制，可以實現以下功能：

2.生長斜率及控制參數設定；

3.控制晶升，動態可調

4.控制晶轉，可設定多段速自動執行

5.腔體真空壓力檢測

6.報警監測，晶升晶轉中頻氣壓等上限報警

7.實時數據曲線

8.數據記錄， 自動存儲運行數據

水冷系統（選配）

1.工作電流：2.1-12.9A

2.制冷量：49474Btu/h

3.最大流量：117L/min

4.水箱容量：75L

坩堝系統（選配）

1.可選石墨坩堝或者氮化硼坩堝和相應的保溫材料組件

此單晶爐的坩堝尺寸分為D50*H50mm和D80*H80mm

變壓器（選配）

可根據客戶所在地的電壓選配變壓器，如480V變380V，415V變380V等

產品尺寸（參考）

1.設備主機：~1480mm(L)  x 1150mm(W) x 2450mm(H)

2.冷水機：~800mm(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)

3.變壓器：~1050(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)